成都鍍膜改善思路:檢討過程,杜絕臟污染。
成都鍍膜改善對策:
(一)送交洗凈或擦拭的鏡片不要有過多的不良附著物;
(二) 加強(qiáng)鍍前鏡片的洗凈率或擦凈率;
(三)改善上傘后待鍍鏡片的擺放環(huán)境,防治污染;
(四) 養(yǎng)成上傘作業(yè)員的良好習(xí)慣,防治鏡片污染(指紋印、口水點及其它);
(五)加快真空室護(hù)板更換周期;
(六)充氣管道清潔,防治氣體充入時污染;
(七)初始排氣防渦流(湍流),初始充氣防過沖;
(八) 鏡片擺放環(huán)境和搬運過程中避免油污、水汽(磨邊、超聲波清洗)污染。
(九) 工作環(huán)境改造成潔凈車間
(十) 將鍍膜機(jī)作業(yè)面板和主機(jī)隔開,減少主機(jī)產(chǎn)生的有害物質(zhì)污染鏡片。
四/1、灰點臟
成都鍍膜現(xiàn)象:鏡片膜層表面或內(nèi)部有一些點子(不是膜料點)有些可以擦除,有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產(chǎn)生。
成都鍍膜產(chǎn)生原因:
1、真空室臟,在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護(hù)板的臟灰?guī)У界R片上,形成灰點層。(膜內(nèi),不能擦除,會有點狀脫膜)
2、鏡圈或碟片臟,有浮點灰塵,在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。(膜內(nèi),不能擦除,會有點狀脫膜)
3、鏡片上傘時就有灰塵點,上傘時沒有檢查挑選。(膜內(nèi),不能擦除,會有點狀脫膜)
4、鍍制完成后的環(huán)境污染是膜外灰點的主要成因,特別是當(dāng)鏡片熱的時候,更容易吸附灰塵,而且難以擦除。(膜外)
5、真空室充氣口環(huán)境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟,充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。(膜外)
6、作業(yè)員人為帶來的灰塵污染(膜內(nèi)膜外)
7、工作環(huán)境中灰塵過多
成都鍍膜改善思路:杜絕灰塵源
成都鍍膜改善對策:
(一)工作環(huán)境改造潔凈車間,嚴(yán)格按潔凈車間規(guī)范實施。
(二)盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生。盡量利用潔凈工作臺。
(三)真空室周期打掃,保持清潔。
四/2、膜外白霧
成都鍍膜現(xiàn)象:鍍膜完成后,表面有一些淡淡的白霧,用丙酮或混合液擦拭,會有越擦越嚴(yán)重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭,可以擦掉或減輕,(又稱:可擦拭壓克)
分析:膜外白霧的成因較為復(fù)雜,可能的成因有:
① 膜結(jié)構(gòu)問題:外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散,外層膜太粗糙;
② 蒸發(fā)角過大,膜結(jié)構(gòu)粗糙。
③ 溫差:鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大
④ 潮氣;鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣
⑤ 真空室內(nèi)POLYCOLD解凍時水汽過重
⑥ 蒸鍍中充氧不完全,膜結(jié)構(gòu)不均勻
⑦ 膜與膜之間的應(yīng)力
成都鍍膜改善思路:膜外白霧成因很多,但各有些特征,盡量對癥下藥。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善環(huán)境減少吸附的對象。
成都鍍膜改善對策:
(一)改善膜系,外層加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。改善鏡片出罩時的環(huán)境(干燥、清潔)
(二) 降低出罩時的鏡片溫度(延長在真空室的冷卻時間)減少溫差、降低應(yīng)力。
(三) 改善充氧(加大),改善膜結(jié)構(gòu)。
(四)適當(dāng)降低蒸發(fā)速率,改善柱狀結(jié)構(gòu)
(五)離子輔助鍍膜,改善膜結(jié)構(gòu)
(六)加上polycold解凍時的小充氣閥(其功能是及時帶走水汽)
(七)從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角。
(八)改善基片表面粗糙度。
(九) 注意polycold解凍時的真空度。