低溫冷凝泵:它是利用低溫表面來凝聚氣體分子以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種泵,是目前獲得極限真空很高,抽速很大的抽氣泵。
冷凝泵的工作原理:主要是低溫表面對氣體的冷凝作用、冷捕作用及物理低溫吸附作用。
低溫冷凝:根據(jù)各種氣體的特性,采用液氦或者制冷循環(huán)氦氣來冷卻。
冷捕集:就是不可凝氣體被可凝氣體捕集的現(xiàn)象,通常二氧化碳、水蒸氣、氮?dú)?、壓氣等氣體首先形成霜,于低溫表面形成吸附層,進(jìn)而達(dá)到吸附其它氣體的目的,低溫泵抽除混合氣體的效果比抽除單一效果好就是這個(gè)原因。
低溫吸附:指低溫表面上的吸附劑吸附氣體的作用,由于吸附劑與氣體分子之間的相互作用很強(qiáng),故可達(dá)到氣相壓強(qiáng)比冷凝表面溫度下它的飽和蒸汽壓還低的水平。吸附劑通常是活性炭。
冷凝泵的抽氣速率及影響冷凝泵的抽氣速率與冷凝表面的面積大小有關(guān)系,經(jīng)數(shù)據(jù)顯示,單位冷凝表面積下的抽氣速率為11.6升/秒.平方厘米,冷凝泵可以抽到10-8帕;此外粘有活性炭的吸附表面的幾何形狀及位置、活性炭的顆粒結(jié)構(gòu)、粘結(jié)材料及粘接工藝,對抽速也有很大的影響。其次關(guān)鍵在于制冷機(jī)的制冷量要足夠大。
真空計(jì):真空計(jì)是真空鍍膜機(jī)器上的重要組成部分,它是檢測鍍膜機(jī)真空度的重要手段。真空計(jì)根據(jù)其工作原理可以分為一定真空計(jì)和相對真空計(jì),一定真空計(jì)可以直接測量壓強(qiáng)的高低,相對真空計(jì)只能間接測量真空度。