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鍍膜料點

膜料點不良也是鍍膜產(chǎn)品的一個常見問題，在日企、臺企把膜料點稱為“斑孔”

2020-08-18 10:51:5591

顧名思義，膜料點就是蒸鍍中，大顆粒膜料點隨著膜料蒸汽分子一起蒸鍍到了基片的表面，在基片表面形成點狀的突起，有時是個別點，嚴重時是成片的細點，大顆粒點甚至可以打傷基片表面。
各種膜料的蒸發(fā)特性是不一樣的，特別是熔點溫度和蒸發(fā)溫度有很大差異
熔點溫度大于蒸發(fā)溫度的材料，由固態(tài)直接氣化蒸發(fā)，是升華材料；
熔點溫度小于蒸發(fā)溫度的材料，由固態(tài)先化成液態(tài)爾后在轉(zhuǎn)換成氣態(tài)蒸發(fā)，是非升華材料；
熔點溫度與蒸發(fā)溫度相當?shù)牟牧希晒虘B(tài)到氣態(tài)蒸發(fā)，邊融化邊蒸發(fā)。是半升華材料。
其中非升華材料很容易產(chǎn)生膜料點，因為液態(tài)的膜料繼續(xù)加熱會沸騰，沸騰中膜料中的氣泡溢出，飛濺膜料點的可能性加大。有時在材料預熔時就有很大的飛濺。
膜料受潮，預熔或蒸鍍時水汽逸出，也會造成飛濺產(chǎn)生。
膜料不純、膜料參雜，即膜料中有了熔點溫度、蒸發(fā)溫度不一致的材料，這也是膜料點產(chǎn)生的原因。
改善思路：選用好的膜料、充分預溶、控制速率。

改善對策：
（一）選擇雜質(zhì)少的膜料
（二）對易飛濺的膜料選擇顆粒合適的膜料
（三）膜料在鍍前用網(wǎng)篩篩一下
（四）精心預熔，MgF2務必熔透一次蒸鍍所需膜料，而Ta2O5 和TiO2必須徹底熔透。
（五）用一把電子鍍制幾種膜料時，防治坩堝轉(zhuǎn)動中膜料參雜及擋板掉下膜料渣造成膜料污染。一旦發(fā)現(xiàn)坩堝膜料有污染，應立即更換。
（六）盡很大可能使蒸發(fā)舟、坩堝干凈。（勤打掃）。
（七）選擇合適的蒸發(fā)速率及速率曲線的平滑。特別是非升華材料，蒸發(fā)速率不宜高。
（八）膜料去潮，將待用膜料用培養(yǎng)皿盛放在真空室干燥
注意：有時膜層內(nèi)有一些細小的點子，有可能不是膜料點，而是灰塵點，處理的方法與膜料點不良是不同的，應嚴格區(qū)分，分別處理。